熱處理是提高機械零件的性能、可靠性和使用壽命的重要基礎工藝，熱處理能大限度地挖掘和發揮金屬材料的潛力，使機械零件充分滿足各種服役條件下的性能要求和使用壽命。真空熱處理的優點是無氧化、無脫碳、無污染；工件表面光潔，畸變小；綜合力學性能優異；工藝適用范圍廣；自動化程度高；生產效率高；產品品質穩定；節能等優點。真空熱處理能廣泛應用在退火、回火、油(氣)淬、高壓（高流率）氣淬、真空滲碳、真空燒結、真空釬焊等領域。

真空熱處理的工藝特點是真空脫氣作用、真空脫脂作用、真空凈化作用和真空保護作用。

真空的脫氣作用：鋼鐵零件在真空加熱過程中，降低爐壓，即提高真空度，鋼中殘留氣體(H、N、CO等)就將逸出(脫氣)，從而改善鋼鐵零件的力學性能，工模具零件經真空淬火后，塑性、沖擊韌度會得到提高，從而延長使用壽命。

真空脫脂作用：真空脫脂爐已廣泛地應用于的金屬箔、拉絲線材和精密的帶有小孔網眼之類的金屬零件的脫脂處理。因為附在這些物件上的油脂屬于普通脂肪族，是碳、氫和氧的化合物，其蒸氣壓較高，在真空中加熱時會迅速分解為水蒸氣、氫和二氧化碳等氣體，它們很容易蒸發而被真空泵抽去。但真空熱處理前工件仍應經清洗后裝入爐內。避免大量的油脂污染爐子和污染真空泵汕以免損壞真空泵的性能。

真空的凈化作用：金屬表面有氧化膜，輕微的銹蝕，氮化物、氫化物等，在真空中加熱時，這些化合物即被還原、分解或揮發而消失，從而使工件獲得光潔的表面。

真空的保護作用：幾乎所有的金屬在氧化性的氣氛中加熱時，會使金屬表面產生氧化而失去金屬的光澤，而真空加熱可以使金屬材料保持原有的表面光亮度。